Glavna klasifikacija strojeva za vakuumske prevlake

Postoje dvije glavne kategorije: prevlačenje taloženje i isprvaka za isprvane, koji uključuju mnoge vrste, uključujući isparavanje vakuumskog iona, raspršivanje magnetrona, epitaksiju molekularnog snopa MBE, metodu sol-gel itd.
1. Za prevlačenje isparavanja:
Općenito, ciljni materijal se zagrijava kako bi ispario površinske komponente u obliku atomskih skupina ili iona.
Ujednačenost debljine uglavnom ovisi o:
1. stupanj podudaranja rešetke između materijala supstrata i ciljnog materijala
2. Temperatura površine supstrata
3. Snaga isparavanja, stopa
4. stupanj vakuuma
5. Vrijeme premaza, veličina debljine.
Komponentska uniformnost:
Komponentnu ujednačenost premaza isparavanja nije lako garantirati. Specifični čimbenici koji se mogu prilagoditi isti su kao gore. Međutim, zbog ograničenja principa, za komponentnu komponentu, komponenta ujednačenost premaza isparavanja nije dobra.
Kristalna orijentacijska ujednačenost:
1. stupanj podudaranja rešetke
2. Temperatura supstrata
3. Stopa isparavanja
Prekrivanje premaza može se podijeliti u mnoge vrste. Općenito govoreći, razlika od premaza isparavanja je u tome što će brzina raspršivanja postati jedan od glavnih parametara.
U prekrivanju premaza, lasersko raspršivanje premaza PLD je lako održavati ujednačenost komponente, ali ujednačenost debljine na atomskoj ljestvici relativno je loša (jer je pulsno raspršivanje), a kontrola rasta kristala (vanjskog ruba) također je relativno općenita.