1. Osnovna struktura stroj za vakuumski premaz
Stroj za vakuum za oblaganje je uređaj koji na površinu supstrata nalazi tanki film fizičkim ili kemijskim metodama u vakuumskom okruženju. Njegova jezgrena struktura uključuje sljedeće dijelove:
1. Vakuumski sustav: Sastoji se od mehaničke pumpe, molekularne pumpe, difuzijske pumpe itd., Koji se koristi za pumpanje komore za oblaganje u visoko vakuumsko okruženje od 10 ~ 10⁻⁶ PA (pogledajte "Priručnik za vakuumsku tehnologiju prevlačenja"). Na primjer, mehanička pumpa može smanjiti tlak na 1 ~ 10 PA, a molekularna pumpa može ga dodatno smanjiti na ispod 10 ° PA.
2. Komora za oblaganje: Glavno tijelo je šupljina od nehrđajućeg čelika, koja je otporna na koroziju i ima snažno brtvljenje. Veličina se kreće od 0,5 m³ za male laboratorije do 5 m³ za industrijski stupanj (poput Ulvac-ovog modela ARL-300).
3. Izvor isparavanja: Odaberite grijanje otpora, elektronski snop ili izvor prskanja magnetrona prema zahtjevima procesa. Na primjer, snaga izvora isparavanja elektronske zrake može doseći 10 kW, a brzina isparavanja oko 1 ~ 5 nm/s.
2. Razlike u sastavu različitih vrsta strojeva za oblaganje
1. Oprema fizičke taloženja pare (PVD):
- Strojevi za raspršivanje magnetrona moraju biti opremljeni ciljnim materijalima (poput ciljeva titana, aluminijskih ciljeva) i sustavima magnetskog polja, a tlak radnog plina obično je 0,1 ~ 10 pA.
- Strojevi za prevlačenje lučnih iona dodaju izvore luka, struja može doseći 100 ~ 200 a, a filmska adhezija je jača.
2. Oprema za taloženje kemijske pare (CVD):
- Reaktivni plinovi (poput SIH₄, CH₄) trebaju se uvesti i opremljen je sustav za kontrolu protoka plina, s točnošću ± 1 SCCM (Standardni mililitri/minutu).
3. Pomoćni sustavi i ključni tehnički parametri
1. Upravljački sustav: PLC ili industrijsko računalo koristi se za praćenje vakuuma, temperature (± točnost 1 stupnja) i debljine filma (mjereno kvarcnom metodom oscilacije kristala, točnost ± 0,1 nm) u stvarnom vremenu.
2. Sustav rashladnog sustava: Brzina protoka protoka vodenog hlađenja obično je 20 ~ 50 l/min kako bi se osigurala dugoročna operativna stabilnost opreme.
Iv. Scenariji aplikacije i preporuke za odabir
1. Optički premaz: zahtijeva visoku ujednačenost (± 1% debljine odstupanja) i treba odabrati izvor isparavanja s više propusta.
2. Prevlačenje alata: usredotočen je na tvrdoću (kao što je TIN premaz može doseći 2000 HV), a preferira se oprema za ionsku ionsku opremu.
Kroz gornju analizu, korisnici mogu odabrati odgovarajući tip i konfiguraciju premaza prema stvarnim potrebama (poput performansi filma, učinkovitosti proizvodnje).
