Jedan. Što je "kontaminacija karijesa"?
Kontaminacija karijesa nije samo "prljavština".
Tijekom PVD procesa, unutarnja stijenka kaviteta postupno postaje prekrivena različitim materijalima:
1. Metal prska iz mete
2. Spojevi koje stvaraju reaktivni plinovi
3. Mješoviti taloženi sloj više materijala
Rezultat je: Izvorna "metalna površina šupljine" postupno se pretvara u "kompleksni funkcionalni film".
Dva. Zašto kontaminacija utječe na iscjedak?
Pražnjenje se ne događa samo na ciljnom materijalu.
Cijela šupljina je dio električnog polja i kretanja elektrona.
Stoga svojstva površine šupljine izravno utječu na:
1. Emisija elektrona
2. Akumulacija naboja
3. Lokalna distribucija električnog polja
Drugim riječima, šupljina nije samo spremnik, već i dio sustava za pražnjenje.
Treći. Prva promjena: izmijenjena sekundarna emisija elektrona
Sposobnosti emitiranja elektrona različitih materijala uvelike se razlikuju.
Kada je šupljina prekrivena različitim slojevima filma:
1. Neka područja lakše otpuštaju elektrone.
2. Neka područja teže emitiraju elektrone.
Rezultat: Promjena distribucije izvora elektrona.
četiri. Druga promjena: Problem akumulacije naboja
Ako je sloj onečišćenja izolacijski ili polu{0}}izolacijski materijal:
1. Lako se nakuplja površinski naboj
2. Lokalno izobličenje električnog polja
To će dovesti do:
Odstupanje pražnjenja
Lokaliziran abnormalni iscjedak
Povećana nestabilnost
Pet. Treća promjena: Put pražnjenja je "redefiniran"
Izvorno je put pražnjenja određen:
1. Električno polje
2. Magnetsko polje
3. Geometrijska struktura
Međutim, nakon pojave sloja onečišćenja:
Neka područja su sklonija pražnjenju, dok su druga "potisnuta".
Zbog toga se mjesto pražnjenja postupno pomiče.
Šest. Zašto se problem "sporo javlja"?
Kontaminacija komore ima dvije karakteristike:
1. Kumulativna priroda: Ne nastaje sve odjednom, već se nakuplja sloj po sloj.
2. Ne-ujednačenost: Stopa taloženja varira na različitim lokacijama.
To dovodi do: Neprimjetne promjene okoline pražnjenja.
sedam. Izravni utjecaj na proces
Kontaminacija komore mijenja proces pražnjenja, što dovodi do niza lančanih reakcija:
1. Promjene u distribuciji plazme
Pomaci područja taloženja.
2. Promjene u protoku iona
Lokalno bombardiranje može biti pojačano ili oslabljeno.
3. Neravnomjeran unos energije
Razlike u strukturi filma.
4. Smanjena ponovljivost procesa
Rezultati s istim parametrima više nisu dosljedni.
Osam. Tipična zabluda
Mnogi ljudi vjeruju da: Sve dok je ciljni materijal u redu, iscjedak se neće promijeniti.
Međutim, stvarnost je: stanje komore također određuje ponašanje pražnjenja.
U nekim slučajevima, utjecaj je još suptilniji od utjecaja ciljanog materijala.
Devet. Zašto je učinak tako vidljiv nakon čišćenja?
Nakon čišćenja opreme:
Površina se vraća u prvobitno metalno stanje.
Karakteristike električnog polja i emisije elektrona vraćaju se na konzistentnost.
Rezultati su:
Put pražnjenja se vraća u projektirano stanje.
Plazma se ponovno -stabilizira.
Evo zašto: Proces se "iznenada poboljšava" nakon čišćenja.
Deset. Temeljna inženjerska pitanja
Izazovi koje predstavlja kontaminacija karijesa su:
To nije "podesivi parametar", već "latentna varijabla".
Štoviše:
. Teško za praćenje u stvarnom vremenu
. Teško je kvantificirati i kontrolirati
. Ipak, njegov je utjecaj vrlo raširen.
Jedanaest. Sažetak Temeljni razlog zašto kontaminacija šupljina mijenja pražnjenje je taj što promjene u svojstvima površinskog materijala redefiniraju emisiju elektrona, distribuciju naboja i strukturu električnog polja, mijenjajući na taj način stvaranje i distribuciju plazme.
U konačnici, to se očituje kao: promjene u stanju pražnjenja i smanjena stabilnost procesa.
