U strojevima za vakuumsko premazivanje magnetronskim raspršivanjem, materijal koji se oblaže naziva se supstrat, a materijal koji se oblaže naziva se meta. I podloga i meta nalaze se unutar vakuumske komore. Prevlaka isparavanjem obično uključuje zagrijavanje mete kako bi se isparile površinske komponente u obliku atomskih klastera ili iona. Ove isparene komponente zatim se talože na površinu supstrata, tvoreći tanki film kroz-proces stvaranja filma (raspršena-otočna struktura-lutajuća struktura-rast slojeva).
Za premaze raspršivanjem, to se može jednostavno shvatiti kao korištenje elektrona ili visoko{0}}energetskih lasera za bombardiranje mete, raspršivanje površinskih komponenti u atomske klastere ili ione, koji se zatim talože na površinu supstrata, podvrgavajući se-procesu stvaranja filma da bi se konačno formirao tanki film.
Operativni postupci: rad upravljačkog ormara
1. Uključite pumpu za vodu i dovod zraka.
2. Uključite glavno napajanje.
3. Uključite napajanje pumpe za držanje i mjerača vakuuma. Postavite mjerač vakuuma na položaj V1 i pričekajte da vrijednost bude manja od 10 prije nego što prijeđete na sljedeći korak. Ovo traje otprilike 5 minuta.
4. Uključite mehaničku pumpu za pred-evakuaciju. Uključite turbomolekularnu pumpu i pokrenite je. Prebacite prekidač mjerača vakuuma na V2 i evakuirajte dok vrijednost ne bude manja od 2. To traje otprilike 20 minuta.
5. Nakon što očitanje turbomolekularne pumpe dosegne 250, isključite pred-evakuaciju. Uključite predpumpu i ventil visokog vakuuma za nastavak pražnjenja. Tek nakon postizanja određene razine vakuuma možete uključiti mjerač visokog vakuuma na desnoj strani i promatrati stupanj vakuuma. Napajanje elektronskog topa može se uključiti tek nakon što vakuum dosegne 2 × 10⁻³.
Operacija DEF-6B:
1. Glavna snaga.
2. Istovremeno uključite Electron Gun Control I i Electron Gun Control II: Pritisnite prekidač napajanja i odgode za Electron Gun Control I. Lampice odgode, napajanja i zaštite će zasvijetliti. Nakon tri minute isključit će se svjetla odgode i zaštite. Ako stražnja vrata nisu dobro zatvorena ili je relej protoka vode neispravan, zaštitno svjetlo će ostati uključeno.
3. Uključite visoki napon. Visoki napon će doseći preko 10KV. Podesite struju snopa na približno 200 mA. Rešetka zaslona je 20V/100mA, struja žarne niti je 1,2A, a struja otklona varira između 1 i 1,7A.
